均温无结露冷却辊——薄膜表面金属化的关键部件

在半导体器件制造、电子元件镀膜、光学镜片镀膜、光学薄膜器件制造以及其它薄膜类材料改性等领域使用到磁控溅射、真空蒸镀等设备。高温金属原子在薄膜表面沉积时需要及时将薄膜上多余的热量均匀地带走。普通冷却辊温度不均匀，且冷却效果欠佳，容易造成薄膜受热软化、起皱，影响产品质量，严重时将使得产品不能长时连续生产，产品的成品率和合格率达不能合格水平，产品的工艺成本将大幅上升。上海联净均温无结露冷却辊采用特殊的内部结构，传热速率更快，且能够将工作区域的热量快速传递到两端，让辊面温度始终维持在±1℃以内，确保产品一致性良好。

² 磁控溅射

²  磁控溅射+蒸镀

上述工艺中，冷却辊的温度均匀性十分关键。上海联净均温无结露冷却辊是理想的选择，目前已广泛应用于此类要求的许多个关键工序。

均温无结露冷却辊技术规格：

* 直径：100~2000mm

* 长度：500~2500mm

* 辊筒材质：SUS304 或者其它牌号不锈钢

* 表面处理：镀硬铬，硬度HRC 50~60，粗糙度Ra 0.01~0.05

* 工作温度：－30℃ ~ 80℃

* 温度精度：±1℃

注：各项参数可根据客户需要订制。